Aufbautechnik

Chip Size Packaging

Der Einzug von Mikrobauteilen in mobile Elektronikgeräte zwingt zu extrem miniaturisierten Bauelementen mit Gehäusedicken deutlich unter 1 mm. Das ISIT ist spezialisiert auf die fortschrittliche Integration von Mikrobauteilen wie z.B. Inertialsensoren mit Auswerteschaltungen. Diese Aufbautechnik kann je nach Chipgeometrie und Komplexität auch auf Waferebene (WL-CSP) durchgeführt werden, wodurch besonders dünne Aufbauten realisiert werden können.
Das Institut hat hierzu einen modularen Werkzeugkasten an Schlüsseltechnologien entwickelt, der eine schnelle kundenspezifische Bauteilentwicklung erlaubt. Hierzu gehören:
• die symmetrische Waferdünnung von MEMS Bauelementen,
• spezielle Vereinzelungstechnologien zur Exposition der Bondpads,
• elektrische Durchführungen in Glas- und Siliziumwafern (TSV: Through-Silicon Via),
• Chip-Stapeltechnik mit Transfer-Klebefolien,
• Spacertechniken zur Chipmontage,
• 3D Drahtbonden und
• "Bumping und Balling", z.B. Lot-Bekugelung oder Stud-Bumping.