Mikrosystemtechnik

MEMS-Scanner für effizientere Laser-Material-Bearbeitung – Gelungener Brückenschlag zwischen Mikro- und Makrowelt

Die Laser-Material-Bearbeitung ist eine Schlüsseltechnologie in der Fertigung moderner Qualitätsprodukte. Schnellere Laserstrahl-Ablenksysteme können diese Technologie deutlich verbessern. Fraunhofer ISIT hat die Vorteile der MEMS-Scanner-Technologie auf makroskopische Verhältnisse übertragen. Neuartige Scannerspiegel mit Aperturen bis zu 2 cm erlauben jetzt hochdynamische zweiachsige Laserstrahl-Ablenkung für CW-Laser-Leistungen bis zu 500 Watt. Damit eröffnen diese kompakten MEMS-Scanner neue Anwendungsfelder und Produkte.