Mikrosystemtechnik

MEMS-Bauelemente

Das ISIT fokussiert sich bei der Entwicklung von MEMS-Bauelementen auf drei Kernbereiche: die physikalischen Sensoren, auf RF-MEMS-Bauelemente und -Technologien sowie auf passive und aktive optische Mikrosysteme. Neben den dazu notwendigen MEMS Technologien sind in diesen Bereichen auch weitgehende Systemkenntnisse vorhanden. Eine spezielle Anwendung ist MEMS für die Nano-Lithographie.