Mikrosystemtechnik

Optische MEMS (MOEMS)

MOEMS

Optische Mikrosysteme hat das ISIT vor allem für die optische Instrumentierung für Konsumgüter und für die Kommunikation entwickelt. Beispiele sind Mikrospiegel für Laserprojektionsdisplays, Laserscanner, analoge und digitale Lichtmodulatoren sowie passive optische Elemente wie refraktive und diffraktive Linsen, Prismen oder Blendensysteme.