Akustische Systeme und Mikroantriebe

Seit vielen Jahren arbeitet das ISIT gemeinsam mit Partnern aus Forschung und Industrie auf dem Gebiet akustischer Mikrosysteme.

Einen Schwerpunkt bildet die Entwicklung einer neuen Generation von miniaturisierten In-Ear- und Mikro-Lautsprechern. Im Gegensatz zu konventionellen Produkten basieren die neuartigen Chip-Lautsprecher auf leistungsfähigen MEMS-Antrieben. Diese werden mittels modernster Siliziumtechnologie hergestellt, welche nicht nur eine mikrometergenaue Fertigung sondern auch kosteneffiziente Massenproduktion ermöglicht. Neben einer herausragenden akustischen Leistungsfähigkeit sowie erweiterten Funktionalitäten zeichnen sich die MEMS-Lautsprecher durch deutlich geringere Baugrößen und eine überragende Energieeffizienz aus,  was sie besonders attraktiv für mobile Anwendungen wie Tablets, Smartphones sowie Hearables , Kopfhörer und Hörgeräte macht. Zum Vorteil der Kunden des ISIT sind die Aktor-Konzepte und die Lautsprecher-Konzepte patentiert.

Einen weiteren Forschungsschwerpunkt stellen miniaturisierte Ultraschallwandler dar. Je nach Frequenzbereich werden die Wandler am ISIT überwiegend als piezoelektrische Dicken- oder Membranschwinger ausgelegt, wobei als Antriebsmaterialien AlN, ScAlN und PZT verwendet werden. Die Anwendung der Prozesstechnologie des ISIT führt somit zu leistungsstarken, integrierten, piezoelektrischen Aktoren. Auf diese Weise lassen sich effiziente Ultraschallwandler mit Mittenfrequenzen von wenigen kHz bis hin zu mehreren hundert MHz realisieren. Zu den entwickelten Bauteilen zählen Ultraschall-Arrays für die Medizintechnik, die zerstörungsfreie Prüftechnik sowie Gestenerkennung.

Ultraschallwandler

In-Ear-Speaker

Piezoelektrisch angetriebener MEMS-Scanner