Pilotfertigung / Prototyping

Das Fraunhofer Institut für Siliziumtechnologie ISIT versteht sich als Kompetenz- und Beratungszentrum für verfahrens- und prozesstechnische Problemstellungen im Bereich der mikroelektronischen und mikromechanischen Fertigung.

Die Organisationsstruktur am Fraunhofer Institut für Siliziumtechnologie ist darauf ausgelegt, Forschung und Produktion an einem Standort zu vereinen. Die Prozessentwicklung findet dabei bereits auf denselben Geräten statt, die später für eine Volumenproduktion genutzt werden. Der hohe Automatisierungsgrad der Maschinen ermöglicht einen fließenden Übergang von der Prozessentwicklung zur Produktion von Kleinserien mit typischen Batchgrößen von 24 Wafern. Gerade bei kleinen Bauelementen können im Rahmen einer solchen Pilotfertigung bereits große Mengen an Bauelementen gefertigt werden. Geht der Bedarf des Kunden darüber hinaus kann der Prozess an die Firma X-FAB MEMS Foundry Itzehoe übergeben werden, die den Prozess dann im gleichen Reinraum in die industrielle Volumenfertigung überführt.