Agglomerierte Mikrosysteme

Basierend auf einer am ISIT entwickelt und patentierten Fertigungstechnologie entwickelt die Gruppe Agglomerierte Mikrosysteme innovative Mikrokomponenten für Anwendungen in den Bereichen MEMS-Sensorik und –Aktorik, Mikrofluidik, Energy Harvesting sowie haptische Mensch-Maschinen-Interfaces.

 

Ihre Benefits

Das Fraunhofer ISIT verfügt über eine patentierte Agglomerationstechnologie zur Herstellung dreidimensionaler Mikrostrukturen. Die Technologie eröffnet vielzählige Freiheitsgrade zur Realisierung neuartiger Mikrokomponenten mit innovativen Funktionalitäten. Zur Einstellung der gewünschten Eigenschaften dienen die Art der Materialien sowie die Geometrie, Porosität und innere Oberfläche der agglomerierten Strukturen. Die Fertigungstechnologie des ISIT bietet diverse Vorteile zu anderen Verfahren wie Sintern oder polymerbasierten Bindemitteln: Niedrige Prozesstemperaturen und thermische Beständigkeit erlauben eine reinraumkompatible Weiterbearbeitung der Komponenten und die offene Porenstruktur ermöglicht mikrofluidische Anwendungen.

Neben der Agglomerationstechnologie verfügt das ISIT über umfangreiche Kompetenzen und Ausstattungen zur Realisierung vollständiger Bauteile. Die Vor- und Nachprozessierung durch vielzählige Reinraumprozesse erlauben die optimale Integration agglomerierter Komponenten zur Verbesserung bestehender oder Realisierung neu entwickelter Mikrosysteme.

Je nach Serienvolumen und Anforderungen kann die Fertigung entwickelter Bauteile am Standort erfolgen oder vom ISIT begleitet transferiert werden.

Use Cases

 

Mikromagnetik

 

Energy Harvester

 

Poröse Strukturen