Mikromagnetik

Eine Millimeter große Magnetscheibe, die im Inneren aus verfestigten NdFeB-Mikropartikeln besteht.
In eine Siliziumfom integrierte Mikromagnete

Die Integrationstechnologie des ISIT ermöglicht die Umsetzung makroskopischer magnetischer Wirkprinzipien auf Mikrosysteme. So können dreidimensionale magnetische Mikrostrukturen mit Abmessungen zwischen 20µm und 1000µm und Tiefen bis 500 µm auf Waferlevel erzeugt werden. Je nach Applikation sind die Magnete freistehend aus dem Substrat gelöst oder in Mikrosysteme integriert.

Im Bereich der Mikroelektronik ist beispielsweise die Integration weichmagnetischer Mikrospulenkerne auf Waferlevel möglich. Im Vergleich zur bestehenden Technologien versprechen solche Bauteile eine höhere Temperaturbeständigkeit und den Zugang zu höheren Frequenzbereichen. Anwendungen sind beispielsweise miniaturisierte Gleichspannungswandler (sog. DC-DC-Konverter) oder integrierte Spannungsquellen für LED-Module.

Sensorik und Aktorik sind zentrale Felder für mikro-elektro-mechanische Systeme (MEMS). Integrierte magnetische Strukturen können in MEMS sowohl für die Positionsdetektion als auch für die Aktuation verwendet werden.