Prozesse für die Waferbearbeitung

© Fraunhofer ISIT / Eric Shambroom Photography 2020

Das Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT ist eine der modernsten Forschungseinrichtungen für Mikrosystemtechnik in Europa mit zwei Reinräumen für die Entwicklung , Pilotproduktion  und industrielle Fertigung von MEMS, MOEMS und PowerMOS  Komponenten.

Neben vollständigen Prozessketten bietet das ISIT seinen Kunden die Möglichkeit, Einzelprozesse vom Waferstart über den Enddtest bis hin zu Backend-Technologien  zu nutzen. Wobei auch vorprozessierte 200mm MEMS oder CMOS Wafer der Kunden weiterverarbeitet werden. Schließlich besteht auch die Möglichkeit, kundenspezifische Prozesse zu entwickeln und anschließend zu transferieren.