Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie
Untersuchung Bauelemente nach elektrischer Messung mittels SEM und FIB
nähere Betrachtung der Schäden am Bauteil
Aufnahme SEM im nm-Bereich
Am Fraunhofer ISIT wird mit einem CrossBeam 1540EsB der Firma Carl Zeiss gearbeitet. Damit können SEM (scanning electron measurements) Untersuchungen auch im Nanometerbereich vorgenommen werden. Proben können zudem in der Probenkammer gekippt werden. Diese Kippung ist sowohl für die FIB Präparation notwendig, als auch für die Darstellung von Topographien von der Seite. Proben können mit Hilfe von FIB (focused ion beam) Mikrometergenau auch in die Substrattiefe untersucht werden.