Polysilizium Technologie-Plattform

mehr Info

Piezo Modul

mehr Info

Powder Modul

mehr Info

EpiPoly Technologie-Plattform

mehr Info

MEMS-Anwendungen

Das ISIT hat ein großes Portfolio an Einzeltechnologien verfügbar, die jeweils qualifiziert zu drei spezifischen MEMS-Prozess-Plattformen kombiniert wurden. Sie bilden damit einen Baukasten für die Realisierung verschiedener Anwendungen.

Polysilizium Technologie-Plattform

Piezo Modul

Powder Modul