Piezo MEMS Technologieplattform

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Powder MEMS Technologieplattform

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Polysilizium MEMS Technologieplattform

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MEMS-Anwendungen

Das ISIT hat ein großes Portfolio an Einzeltechnologien verfügbar, die jeweils qualifiziert zu drei spezifischen MEMS-Prozess-Plattformen kombiniert wurden. Sie bilden damit einen Baukasten für die Realisierung verschiedener Anwendungen.

Polysilizium MEMS
Technologieplattform

Piezo MEMS
Technologieplattform

Powder MEMS
Technologieplattform