Das ISIT hat ein großes Portfolio an Einzeltechnologien verfügbar, die jeweils qualifiziert zu drei spezifischen MEMS-Prozess-Plattformen kombiniert wurden. Sie bilden damit einen Baukasten für die Realisierung verschiedener Anwendungen.
Das ISIT hat ein großes Portfolio an Einzeltechnologien verfügbar, die jeweils qualifiziert zu drei spezifischen MEMS-Prozess-Plattformen kombiniert wurden. Sie bilden damit einen Baukasten für die Realisierung verschiedener Anwendungen.