MEMS-Anwendungen

Das ISIT hat ein großes Portfolio an Einzeltechnologien verfügbar, die jeweils qualifiziert zu drei spezifischen MEMS-Prozess-Plattformen kombiniert wurden. Sie bilden damit einen Baukasten für die Realisierung verschiedener Anwendungen.

Polysilizium MEMS
Technologieplattform

Piezo MEMS
Technologieplattform

Powder MEMS
Technologieplattform