Prozesse für die Waferbearbeitung

Das Fraunhofer Institut für Siliziumtechnologie ISIT ist eine der modernsten Forschungseinrichtungen für Mikrosystemtechnik in Europa mit zwei Reinräumen für die Entwicklung , Pilot Produktion  und industrielle Fertigung von MEMS, MOEMS und PowerMOS  Komponenten.

Neben vollständigen Prozessketten bietet das ISIT seinen Kunden die Möglichkeit Einzelprozesse vom Waferstart über den Enddtest bis hin zu Backend-Technologien  zu nutzen. Wobei auch vorprozessierte 200mm MEMS oder CMOS Wafer  der Kunden weiterverarbeitet werden. Schließlich besteht auch die Möglichkeit kundenspezifische Prozesse zu entwickeln und anschließend zu transferieren.