Leistungselektronik

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Mikrofertigungsverfahren

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MEMS-Anwendungen

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Technologische Ausstattung

Das ISIT verfügt über eine industrielle 200 mm Silizium-Technologie (2500 m²) für Front-End-Prozesse (MOS und PowerMOS). Spezifische Prozesse für MEMS und NEMS sowie für das Packaging werden in einem eigens neu errichteten Reinraum (1000 m²) durchgeführt.

Für die elektrische und mechanische Charakterisierung von Bauelementen, die Aufbau- und Verbindungstechnik und für Zuverlässigkeitsuntersuchungen werden zusätzlich Labore mit einer Fläche von 1500 m² unterhalten.

Das ISIT betreibt weiterhin eine Pilot-Fertigungslinie für Li-Polymer-Akkumulatoren. Die Einrichtungen des ISIT sind seit vielen Jahren nach ISO 9001-2008 zertifiziert.