Mikro-Fertigungsverfahren

Das Fraunhofer Institut für Siliziumtechnologie ISIT ist eine der modernsten Forschungseinrichtungen für Mikrosystemtechnik in Europa mit zwei Reinräumen für die Entwicklung , Pilot Produktion und industrielle Fertigung von MEMS, MOEMS und PowerMOS Komponenten.

Neben vollständige Prozessketten bietet das ISIT seien Kunden die Möglichkeit Einzelprozesse vom Waferstart über den Enddtest bis hin zu Backend-Technologien zu nutzen. Wobei auch vorprozessierte 200mm MEMS oder CMOS Wafer der Kunden weiterverarbeitet werden. Schließlich besteht auch die Möglichkeit kundenspezifische Prozesse zu entwickeln und anschließend zu transferieren.

 

Einzelprozesse

Technologien für die Baugruppenfertigung und Prozesstechnik