Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie
Das anodische Bonden ist eine Schlüsseltechnologie zum stoffschlüssigen Verbinden von Glas- und Siliziumwafern. Eine Anforderung an die Gläser ist, dass deren Ausdehnungskoeffizient möglichst nahe an dem von Silizium ist. Generell werden zum anodischen Bonden Gläser eingesetzt die eine ausreichend hohe Alkali-Ionen-Konzentration besitzen, die sogenannten Borosilikatgläser wie z.B. Borofloat® und Pyrex®. Durch spezielle Reinigungsverfahren können die Materialien nahezu defektfrei gebondet werden. Durch gezieltes einstellen der Waferpaar-Ebenheit können die Fügepartner weiter im Reinraum bearbeitet werden. Auch ein Bonden von vorstrukturierten Wafern ist möglich.