Neon Ultra-Feinlecktest

Viele Anwendungen fordern heute eine sehr lange Lebensdauer der Bauteile von bis zu 20 Jahren. Um diese Anforderung zu erfüllen, muss sichergestellt sein, dass die Bondverbindung hermetisch dicht ist. Das wesentliche Kriterium hierzu ist die Luftleckrate, die angibt, wie viel Gas pro Zeiteinheit in die Kavität strömt. Ist die Luftleckrate bekannt, lässt sich durch Integration über die Zeit leicht bestimmen, ob die Kapazität des vorhandenen Getters für die vorgesehene Lebensdauer ausreicht. Bei sehr kleinen Kavitäten, wie sie beim Wafer-Level Packaging entstehen, müssen Leckraten kleiner als 10^-14 mbar l/s nachgewiesen werden, was mit den gängigen Lecktestverfahren praktisch nicht möglich ist.

Der vom ISIT patentierte Neon Ultra-Feinlecktest ist in der Lage Leckraten bis zu 10^-17 mbar l/s nachzuweisen, sofern das Bauelement über einen mechanischen Resonator verfügt. Für den Test wird der gesamte Wafer über einige Stunden einer Neon-Atmosphäre ausgesetzt. Dabei diffundiert das Neon durch Leckkanäle in die Kavität. Da das Neon nicht gegettert wird, führt dies zu einem Druckanstieg, der anhand der Güte des Resonators nachgewiesen werden kann.