Fraunhofer Institute for Silicon TechnologyMEMS Applications
- Labor zur Integration poröser 3D-Hochleistungswerkstoffe in Bauelemente der Mikrosystemtechnik und Leistungselektronik
- Berufungsprojekt Mikro-Magnetik
- Miniaturisierte magnetische Fluidikschnittstelle für Organ-on-a-Chip und Lab-on-a-Chip
- Entwicklung dreidimensionaler Mikrostrukturen aus Niedertemperaturverfestigten porösen Pulverpackungen
- Autonome, modulare Infrastruktur für Unterwassersysteme
- Herstellung und Integration piezoelektronische AIScN Dünnfilme für Piezo-MEMS Bauelemente
- Verbundvorhaben: Integration eines Chip-basierten Lautsprechers für mobile Endgeräte mit miniaturisierter Elektronik und Signalverarbeitungseinheit; Teilvorhaben: Entwicklung und Herstellung miniaturisierter MEMS-Schallwandler für Chip-Lautsprecher
- Entwicklung von MEMS-Lautsprechern für In-Ear-Kopfhörer
- Extrem breitbandiger Stromsensor mit höchster Dynamik für hocheffiziente Leistungswandlung
- POPCRN Anti-Corona-Programm
- Ferroelektrizität in ScAIN: von der Entdeckung des Effekts zu disruptiven Bauelementen
- Scandium-Aluminium-Nitrid für lineare Breitbandverstärker der nächsten Messgeräte-Generation
- SEC Learn FLY - Sensor Edge Cloud für föderiertes Lernen
- Oberflächenwellenmagnetfeldsensoren
- Herstellung magnetoelektrischer Sensoren
- MEMS-Speakerentwicklung
- Grinding auf variable Substratdicke im Bereich von 300-400µm
- Durchführbarkeit auf Nicht-CMOS-Substraten für Druckkopf
- SAW-basierte, smarte, portable Biosensorplattform zur schnellen Antikörper-Detektion
- Towards Zero Power Electronics
- 3D Gyro- Design- und Prozessentwicklung für einen 3D MEMS Kreisel
- Fertigung Piezo-MEMS basierter hermetisch gekapselter Spiegel-Bauelemente mit kuppelförmigem Glasdeckel
- Cluster of Excellence Advanced Photo Sources, Ultrakurzpuls-Strahlquellen und Systemtechnik für die Präzisions-Hochratenstrukturierung, Metrologie und Bildgebung der nächsten Generation
- CIMD Entwicklung eines Schnelltest-Systems zur frühen und versorgungsrelevanten Detektion immun-vermittelter muskoloskelettaler Erkrankungen
- Großer MEMS-Vektorscanner FPA (Fine Pointing Assembly)
- Halbleiterbasiertes Quantencomputing
- Entwicklung von gesputtertem piezoelektrischem AlN-Dünnfilm als funktionelles MEMS-Material für zivile Zwecke
- Compressed Sensing unterstütztes LiDAR mit kohärenter Detektion bei augensicheren Wellenlängen für autonomes Fahren
- MULtilagen-Aktuatorik für mikrooptische Anwendungen
- Optoelektronisch-mikrofluidisches System zur Detektion von fluoreszenzmarkierten Nukleinsäuren
- Fertigung eines aktiven MEMS-Spiegels mit/oder ohne kuppelförmigen Deckel
- Fertigung eines passiven MEMS-Spiegels mit kuppelförmigem Deckel
- Compressed Sensing unterstütztes LiDAR mit kohärenter Detektion bei augensicheren Wellenlängen für autonomes Fahren
- Funktionale Mikrospiegel mit kundenspezifischem Design
- MEMS-Scanner basiertes Laserprojektionssytem für Maritime Augmented Reality
- Vertrauenswürdige ressourcenschonende Informations- und Kommunikationstechnologie
- Entwicklung einer adaptierbaren, modularen Strategie zur Qualitätskontrolle zellbasierter Therapien