Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie

Projekte

MEMS-Anwendungen

  • PiMAR1 – Piezo MEMS Mikrospiegel für Augmented Reality
  • Smarties – MEMS Energiegewinnung für intelligente Reifen
  • HERMES – Herstellung ultrakompakter MEMS Sensoren mittels laserbasierter Integrationsverfahren
  • MEMS-Boro BMWi – Entwicklung eines 3D-Endoskops auf Basis einer MEMS-3D-Kamera für die Inspektion von Triebwerkskomponenten
  • Feelscreen – Leistungsstarke PMUTs für haptische Displays
  • PRECISE –Intelligente Lösung für eine nachhaltige Fleischproduktion und einen nachhaltigen Fleischkonsum
  • Fast MEMS Mirror for LIDAR – MHZ 1D MEMS Spiegel für LIDAR
  • KonneQt - MEMS Spiegel für interne Konnektivität im Bereich Quanten Computing
  • MEMS Spiegel mit Silflex - MEMS Spiegel mit Silflex als Reflexionsoberfläche
  • MEMS Spiegel für Methologie - MEMS Spiegel mit Kreisbewegung um den Messrauschen zu reduzieren
  • Printhead Phase2a2 und Project Phase 2b – Machbarkeit auf CMOS-Substraten für das Projekt PRINTHEAD
  • ActiveWave - Aktive Wellenleiter
  • Dualeyes+ - MEMS Spiegel für industrielles LIDAR
  • Magnetoelektrische Sensoren – Magnetoelektrische Sensoren: von Kompositmaterialien zu biomagnetischer Diagnose
  • IMU device - 6DOF IMU Geräte
  • AlScN Doppellagen für MEMS Bauteile – Evaluation von piezoelektrischem AlScN Doppellagen für MEMS Bauteile
  • EUCA_FAMES – AlScN Memristoren auf CMOSMillenion_SGA_I - Millenion Quantum
  • Millenion – Ion Trap Quantum Computer
  • MEDUSA - Multifunktionale Durchführungen in Saphir aus Aluminium - MeDuSA
  • FSENS II - Glaswafer mit Au und Ag Metallelektroden sowie dielektrischen Polymerschichten.
  • Sqale-ISIT – MEMS Spiegel und PIC Modulator
  • TOPAL-ISO – Isotrope PowderMEMS Magnete
  • Ultrasonic MEMS for monitoring - Ultraschall-MEMS-Wandler für die akustische Überwachung
  • NeuroSmart- Analoge neuromorphe Beschleuniger, die effiziente und sichere Smart-Sensoren ermöglichen
  • Discover_InLas - Infrarotlinsen mittels laserbasierter Herstellung
  • EUCA_APECS – APECS_ISIT
  • MAGIQ - Magnetoakustische skalierbare Steuerung von Qubits für Quantentechnologien
  • Mikro-Magnetik - PowderMEMS Technologieentwicklung für magnetische Anwendung
  • VollMini
  • PowderGridNDT - Röntgengitter für die zerstörungsfreie Materialanalyse
  • FaradalC (FSENS II) – Glaswafer mit Au und Ag Metallelektroden sowie dielektrische Polymerschichten
  • EUCA_APECS - APECS_ISIT

Mikrofertigungsverfahren

  • Glas-Si Komposite für NanoSCAn - Entwicklung der Glas-Si Komposite Substrate für den Aufbau der Ionenfallen
  • DMSonSOI - Verifizierung des verfügbaren Prozessablaufs zur Herstellung eines DMS auf SOI-<110>-Wafern
  • SAFETOUCH - Selbstdesinfizierende, intelligente Mikrofilme für das Gesundheitswesen und ambulant erworbene Infektionen
  • SimuCast - Simulation der kapillaren Fließvorgänge von Schutzlacken, Verguss- und Underfillmateri-alien bei Applikation auf elektronischen Baugruppen zur Erhöhung der Schutzwirkung vor Korrosion und elektrochemischer Migration (SimuCast)
  • EUCA_APECS - APECS_ISIT

Leistungselektronik

 

  • Size Is Important 2 - Evaluierung von Silizium-Membranen für die Analyse von sub-µ Plastik‐Partikeln in der Umwelt
  • VerGaN - Vertikale GaN Chip Entwicklung mit innovativem Modul- und Endstufendesign (VerGaN)
  • EUCA_APECS - APECS_ISIT
  • VisGaN - Entwicklung und Charakterisierung von Leistungshalbleitern 

 

Elektronische Energiesysteme

  • Data fusion for power module – phase II - Datenfusion zur Zustandsbewertung von Leistungsmodulen
  • OCEAN-H”2 - Offshore-Produktion von grünem Wasserstoff für vielfältige Verwendungszwecke
  • STEESMAT - SST for ships - Demonstration effizienter, vollständig gleichstrombetriebener Stromnetze im Schiffsverkehr für große Schiffe
  • DC-Kore|MMC4EES&P2G – Entwicklung eines bidirektionalen Hybrid-MMC für die Integration von ESS- und P2G-Systemen auf Basis von MVDC
  • DC_Kore|MPC4FCS – Entwicklung eines DC-DC-Wandlers unter Berücksichtigung der Verbesserung von Sicherheit und Wirkungsgrad bei Schnellladegeräten und Batterie-Energiespeichersystemen
  • DC_Kore|AuxPowerDTwin – Entwicklung eines digitalen Zwillings für eine Hilfsstromversorgung mit hoher Isolationsspannung zur Effizienzsteigerung
  • DC_Kore|CirBreaker – Forschung und Entwicklung eines 5-kV-Gleichstrom-Leistungsschalters mit mehreren Schaltpunkten
  • DC_Kore|HIL4DistriPowerSyst – Simulationsmodellierung eines dezentralen LVDC-Stromversorgungssystems für HIL-basierte Tests integrierter Steuerungen
  • DC_Kore|MVCirBreaker – Untersuchung und Festlegung eines Entwurfs für einen Demonstrationstest zur Leistungsbewertung von MVDC-Leistungsschaltern
  • DC_Kore |SST4MeshGrids - Entwicklung von Simulationsmodellen für intelligente Transformatoren, die in AC-DC-Verbundnetze integriert sind
  • DC_Kore_|DCCharging - Entwicklung von Simulationsmodellen für eine an Gleichstromnetze angeschlossene MV-LVDC-Hybrid-Ladestation
  • StartGFM – Finden und pilotieren geeigneter Teilnetzwerken-nutzungsmethoden für netzbildende Umrichter (GFM
  • Super-HEART -  Ausfallsicherer und hocheffizienter Energie-Hub mit integriertem Kurzzeitspeicher für eine Stromversorgung mit hoher Verfügbarkeit
  • AC2DC - Aufbau und Regelung eines MMC für AC/DC-Wandlung

Batteriesysteme FAB-SH

 

  • SiLine- Entwicklung von großflächigen, porösen Si-Fim-Anoden für Lithium/Silizium-NMC Energiespeichern (SiLiNE) hin zur industriellen Fertigung.
  • Qualifizierung von Pouchfolien - Prüfung der Eignung der von Bischof + Klein hergestellten AluFlex® Pouchfolie für die Verwendung in Lithium-Ionen-Pouchzellen und einer mögliche Verwendung in der FFB Münster
  • TroPMelt – Trockenbeschichtung - Trockene Pulver-Schmelz-Kalandrierung für eine umweltfreundliche und kostengünstige Elektrodenproduktion
  • QuW-LIB - Qualifikation und Weiterbildung von Fachkräften entlang der gesamten Wertschöpfungskette nachhaltiger Lithium-Ionen-Batterien
  • LISSY - Neuartige Elektroden für Lithium Schwefel Batterien 

FAB

  •   Green ICT - Aufbau eines Green-ICT-Kompetenzzentrums