MEMS-Anwendungen

Seit mehr als 30 Jahren arbeiten ISIT-Wissenschaftler an der Entwicklung von mikroelektromechanischen Systemen (MEMS). Der Fokus im Geschäftsfeld MEMS-Anwendungen liegt auf Design, Entwicklung und Herstellung von MEMS-Komponenten und MEMS-Systemen.

© Fraunhofer ISIT/ Eric Shambroom Photography
Optische Systeme
© Fraunhofer ISIT / photocompany, Itzehoe
Akustische Systeme und Mikroantriebe
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PowderMEMS

Optische Mikrosysteme

Ein wesentlicher Schwerpunkt in diesem Geschäftsfeld sind die optischen Mikrosysteme. Hier entwickelt das ISIT sowohl Vektorscanner als auch resonante MEMS-Scanner samt Ansteuerungs- und Ausleseelektronik für verschiedene Arten von Laserprojektionsdisplays, für optische Mess- und Detektions-Systeme (z.B. LIDAR), für Anwendungen mit hoher Laserleistung im Bereich der Materialbearbeitung und der generativen Fertigung sowie zum Einsatz in der optischen Telekomunikation.


 

Akustische Systeme und Mikroantriebe

Einen weiteren Schwerpunkt in diesem Geschäftsfeld bilden die akustischen Mikrosysteme. In diesem schnell wachsenden Gebiet forscht das ISIT international führend an neuartigen, hoch miniaturisierten Lautsprechern für Anwendungen in den Bereichen Wearables, Hörgeräte, AR/VR, drahtlose Kopfhörer und Smartphones.  

Ein weiteres Forschungsgebiet bilden ultraschallbasierte Mikrosysteme z. B. für 3D-Abstandmessungen sowie haptische Mensch-Maschinen-Interfaces.


 

PowderMEMS

PowderMEMS ist das patentierte Mikrofertigungsverfahren des ISIT zur Erzeugung von dreidimensionalen funktionalen Mikrostrukturen auf Wafer-Level. Die Gruppe Agglomerierte Mikrosysteme nutzt PowderMEMS für Anwendungen in den Bereichen MEMS-Sensorik und –Aktorik, Mikrofluidik, Energy Harvesting sowie Mikroelektronik.

Die Technologie eröffnet vielzählige Freiheitsgrade zur Realisierung neuartiger Mikrokomponenten mit innovativen Funktionalitäten. Strukturen mit Dimensionen von wenigen zehn bis hunderten von Mikrometern können auf Substratebene aus vielzähligen Materialien erzeugt werden.

Optische Systeme

Akustische Systeme und Mikroantriebe

PowderMEMS