MEMS-Anwendungen

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Optische Systeme
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Akustische Systeme und Mikroantriebe
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Agglomerierte Mikrosysteme

Seit mehr als 30 Jahren arbeiten ISIT-Wissenschaftler an der Entwicklung von mikroelektromechanischen Systemen (MEMS). Der Fokus im Geschäftsfeld MEMS-Anwendungen liegt auf Design, Entwicklung und Herstellung von MEMS-Komponenten und MEMS-Systemen.
 

Optische Mikrosysteme

Ein wesentlicher Schwerpunkt in diesem Geschäftsfeld sind die optischen Mikrosysteme. Hier entwickelt das ISIT sowohl Vektorscanner als auch resonante MEMS-Scanner samt Ansteuerungs- und Ausleseelektronik für verschiedene Arten von Laserprojektionsdisplays, für optische Mess- und Detektions-Systeme (z.B. LIDAR), für Anwendungen mit hoher Laserleistung im Bereich der Materialbearbeitung und der generativen Fertigung sowie zum Einsatz in der optischen Telekomunikation.

 

Akustische Systeme und Mikroantriebe

Einen weiteren Schwerpunkt in diesem Geschäftsfeld bilden die akustischen Mikrosysteme. In diesem schnell wachsenden Gebiet forscht das ISIT international führend an neuartigen, hoch miniaturisierten Lautsprechern für Anwendungen in den Bereichen Wearables, Hörgeräte, AR/VR, drahtlose Kopfhörer und Smartphones.  

Ein weiteres Forschungsgebiet bilden ultraschallbasierte Mikrosysteme z. B. für 3D-Abstandmessungen sowie haptische Mensch-Maschinen-Interfaces.
 

Agglomerierte Mikrosysteme

Einen neuen Schwerpunkt im Geschäftsfelds bilden die agglomerierte Mkrosysteme. Basierend auf einer am ISIT entwickelt und patentierten Fertigungstechnologie entwickelt die Gruppe innovative Mikrokomponenten für Anwendungen in den Bereichen MEMS-Sensorik und –Aktorik, Mikrofluidik, Energy Harvesting sowie haptische Mensch-Maschinen-Interfaces.

Neben der Agglomerations-Technologie verfügt das ISIT über umfangreiches Know-how und Equipment für die Realisierung kompletter Komponenten. Vor- und Nachbearbeitung mittels zahlreicher Reinraumprozesse ermöglichen die optimale Integration von agglomerierten Komponenten zur Verbesserung bestehender oder Realisierung neu entwickelter Mikrosysteme.

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Agglomerierte
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