Ultraschallwandler

Einen Forschungsschwerpunkt stellen miniaturisierte Ultraschallwandler dar. Je nach Frequenzbereich werden die Wandler am Fraunhofer ISIT als piezoelektrische Dicken- oder Membranschwinger ausgelegt. Die Basis bilden hochentwickelte Prozesstechnologieplattformen mit den piezoelektrischen Hochleistungsmaterialien AlN, ScAlN und PZT, wodurch sehr hohe Schalldruckpegel sowie Empfindlichkeiten möglich sind. Auf diese Weise lassen sich effiziente Ultraschallwandler mit Mittenfrequenzen von wenigen kHz bis hin zu mehreren hundert MHz realisieren. Zu den entwickelten Bauteilen zählen Ultraschall-Arrays für berührungslose Mensch-Maschinen-Interfaces, medizintechnische Anwendungen sowie die zerstörungsfreie Prüftechnik.

MEMS-Ultraschall-Array für luftgeführten Ultraschall
© Fraunhofer ISIT, Itzehoe
Piezoelektrische Ultraschall-Arrays mit 80 MHz Mittenfrequenz