Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie
Miniaturisierte Ultraschallwandler sind ein zentraler Forschungsbereich am Fraunhofer ISIT. Abhängig vom Frequenzbereich werden diese Wandler als piezoelektrische Dicken- oder Membranschwinger konzipiert. Grundlage hierfür sind hochentwickelte Prozesstechnologieplattformen, welche die hochleistungsfähigen piezoelektrischen Materialien AlN, ScAlN und PZT nutzen. Dadurch können sehr hohe Schalldruckpegel und Empfindlichkeiten erreicht werden. Es ist möglich, effiziente Ultraschallwandler mit Mittenfrequenzen von wenigen kHz bis zu mehreren hundert MHz zu entwickeln. Die entwickelten Bauteile umfassen Ultraschall-Arrays, die in berührungslosen Mensch-Maschinen-Interfaces, in der Medizintechnik und in der zerstörungsfreien Prüftechnik Einsatz finden.
