Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie
Die Laser-Material-Bearbeitung ist eine Schlüsseltechnologie in der Fertigung moderner Qualitätsprodukte. Schnellere Laserstrahl-Ablenksysteme können diese Technologie deutlich verbessern.
Fraunhofer ISIT hat die Vorteile der MEMS-Scanner-Technologie auf makroskopische Verhältnisse übertragen.
Neuartige Scannerspiegel mit Aperturen bis zu 2 cm erlauben jetzt hochdynamische zweiachsige Laserstrahl-Ablenkung für CW-Laser-Leistungen bis zu 500 Watt.
Damit eröffnen diese kompakten MEMS-Scanner neue Anwendungsfelder und Produkte.
