PowderMEMS ist das patentierte Mikrofertigungsverfahren des ISIT zur Erzeugung von dreidimensionalen funktionalen Mikrostrukturen auf Wafer-Level. Die Gruppe Agglomerierte Mikrosysteme nutzt PowderMEMS für Anwendungen in den Bereichen MEMS-Sensorik und –Aktorik, Mikrofluidik, Energy Harvesting sowie Mikroelektronik.
Die Technologie eröffnet vielzählige Freiheitsgrade zur Realisierung neuartiger Mikrokomponenten mit innovativen Funktionalitäten. Strukturen mit Dimensionen von wenigen zehn bis hunderten von Mikrometern können auf Substratebene aus vielzähligen Materialien erzeugt werden.
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie