PowderMEMS

 

 

 

 

 

 

PowderMEMS ist das patentierte Mikrofertigungsverfahren des ISIT zur Erzeugung von dreidimensionalen funktionalen Mikrostrukturen auf Wafer-Level. Die Gruppe Agglomerierte Mikrosysteme nutzt PowderMEMS für Anwendungen in den Bereichen MEMS-Sensorik und –Aktorik, Mikrofluidik, Energy Harvesting sowie Mikroelektronik.
 

Die Technologie eröffnet vielzählige Freiheitsgrade zur Realisierung neuartiger Mikrokomponenten mit innovativen Funktionalitäten. Strukturen mit Dimensionen von wenigen zehn bis hunderten von Mikrometern können auf Substratebene aus vielzähligen Materialien erzeugt werden.

 

 

PowderMEMS Strukturen ermöglichen beispielsweise

  •  Thermisches Management
  •  Integrierte Mikromagnete
  •  Lokale Porosität
  •  Hohe Dichte

Use Cases

 

Sensorik

PowderMEMS ermöglicht die Integration großer Oberflächen sowie funktionaler poröser Mikrostrukturen in MEMS-Sensoren. Durch Nutzung der dritten Dimension ist dies mit geringem Wafer-Footprint möglich.

 

Energy Harvesting

Im Gegensatz zu konventionellen MEMS-Energy Harvesting Systemen ermöglicht die Fraunhofer patentierte PowderMEMS Technologie, diese durch dichtere Materialien wie Wolfram oder NdFeB zu ersetzen.

 

Integrierte Induktivitäten

Die am Fraunhofer ISIT entwickelte Powder-MEMS-Technologie bietet eine Vielzahl an Möglichkeiten bei der Herstellung von Induktivitäten und Transformatoren mit magnetischem Kern auf einem Substrat (z.B. Silizium, FR4) für Hochfrequenzanwendungen.

 

Funktionale MEMS-Strukturen

Die vielzähligen Freiheitsgrade des PowderMEMS-Verfahrens ermöglichen die Erzeugung von funktionalen Mikrostrukturen für eine große Spanne von Anwendungsfeldern.

 

PowderMEMS Technologie

Das PowderMEMS-Verfahren des Fraunhofer ISIT ermöglicht die Integration nahezu beliebiger Materialien in planaren Substraten wie Silizium, Glas, Keramik und PCB.