Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie

Silizium-Membrantechnologie

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Unternehmen und Forschungseinrichtungen stehen vor der Aufgabe, Mikro- und Nanopartikel in Flüssigkeiten oder Gasen zuverlässig zu detektieren, zu visualisieren, zu klassifizieren und zu filtern. Klassische Polymer- oder Glasmikrofaserfilter leiden unter

  • heterogenen Filterflächen und geringer Präzision
  • spektrischer Interferenz bei Analyseverfahren
  • begrenzten Poren­größen und -verteilungen
  • mangelnder Robustheit bei hohem Druck

Mit der polymerfreien Silizium-Membrantechnologie des Fraunhofer ISIT bieten wir hochpräzise Filterstrukturen, die

  • Porenöffnungen ab 200 nm mit regelmäßiger Verteilung realisieren
  • homogene, ultraflache Filterflächen (2 µm Dicke) bereitstellen
  • verschiedene Oberflächenbeschichtungen (Al₂O₃, Au) für minimalen Spektralkontrast erlauben
  • ein integriertes Orientierungssystem für exakte Positionierung enthalten
  • in frei wählbaren Geometrien und Filterdurchmessern (Ø 25 mm, Filtrationsfläche 10 mm) gefertigt werden

  • Entwicklung makroporöser Silizium-Membranen durch elektrochemisches Ätzen
  • Präzises Design regelmäßig verteilter Nanoporengrößen (ab 200 nm)
  • Ultraphlache Membrandicke von nur 2 µm für maximale Druckbeständigkeit
  • Spezielle Oberflächenbehandlung zur Erhöhung des Kontrasts bei Analysen
  • Beschichtungsmaterialien: Aluminiumoxid (Al₂O₃) und Gold (Au)
  • Integriertes Ausrichtungssystem an der Filtrationsfläche
  • Pilotproduktion und Reinraum-Nachbereitung am ISIT-Standort

  • Mikro-/Nanoplastik-Detektion in Wasser- und Umweltproben
  • Viren- und Kontaminantenfiltration in Bioproben
  • Gas- und Flüssigkeitsfiltration für Analytik und Prozessüberwachung
  • Lab-on-Chip-Diagnostik mit optischer Partikelidentifikation
  • Optische Filtersysteme mit geringer spektraler Interferenz

  • Höchste Präzision: Nanoporengrößen ab 200 nm und gleichmäßige Verteilung
  • Robuste, ultraflache Membranen (2 µm) für hohen Druck und lange Lebensdauer
  • Polymerfrei: homogene Silizium-Filterflächen ohne störende Artefakte
  • Flexible Geometrien und Beschichtungen (Al₂O₃, Au) für vielfältige Analytikanforderungen
  • Exaktes Ausrichtesystem für reproduzierbare Messergebnisse
  • Komplettservice: Forschung, Pilotfertigung und Transferbegleitung aus einer Hand