Testwafer aus Glas werden häufig eingesetzt, um die Genauigkeit einer Positionierung zu vermessen oder visuell zu prüfen. Typische Anwendungen sind Kalibriermarken für Kamerasysteme oder der Nachweis der Positioniergenauigkeit von Bestückautomaten.
Neben kundenspezifischen Designs bietet das ISIT zwei standardisierte Layouts an, die jeweils aus einen Chip- und einen Substratwafer bestehen.
Neben verschiedenen Marken für Kamerasysteme verfügen die Designs über Gitterstrukturen, die zusammen eine Nonius-Skala ergeben, wie man sie von mechanischen Schieblehren her kennt. Dadurch lassen sich sowohl der lateraler Versatz als auch die Rotation der Chips gegenüber dem Substrat visuell ablesen ohne dass hierzu eine Bild¬erkennungs¬software oder ein Messmikroskop erforderlich wären.
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie