Kappenwafer

Die Herstellung funktionalisierter Kappenwafer gehört zu den Kernkompetenzen des ISIT. Je nach Applikation dienen Glas oder Siliziumwafer als Ausgangsmaterial. Während Glaswafer in der Regel mit der vom ISIT patentierten Glasfließtechnologie  prozessiert werden, kommen bei Silizium Ätzverfahren zum Einsatz, um Kavitäten zu erzeugen. Bei Anwendungen, die ein Vakuum in der Kavität erfordern, dienen Getterschichten als „in situ“ Pumpe, während bei optischen Anwendungen häufig Antireflexbeschichtungen aufgebracht werden.