Fraunhofer-Institut für SiliziumtechnologieNachträge 2021
- F. Stoppel, B. Wagner
Micromechanical Piezoelectric Actuators for Implementing Large Forces and Deflections
MY-187297-A
AI technology brain background digital transformation concept
Patente
2022
- Z. Yu, H. Kapels, K. Hoffmann
Stromrichterschaltung und Verfahren zur Steuerung derselben
EP 3563475 B1 - T. Lisec, F. Lofink
Method of producing a cavity having a porous structure
US 11,268,122 B2 - B. Wagner, S. Fichtner, F. Lofink
Ferroelektrische Halbleitervorrichtung mit einer einen Mischkristall aufweisenden ferroelektrischen Speicherschicht und Verfahren zu deren Herstellung
DE 102018212736 B4 - F. Stoppel, F. Niekiel, B. Wagner, F. Lofink
MEMS-Schallwandler mit Ausnehmungen und Auskragungen
DE 102021202573 B3 - F. Stoppel, B. Wagner, S. Gu-Stoppel
Micromechanical Sound Transducer
US 11,350,217 B2 - F. Lofink, D. Kaden, S. Fichtner
Ferroelektrisches Material, MEMS-Bauteil mit einem ferroelektrischen Material, MEMS-Vorrichtung mit einem ersten MEMS-Bauteil, Verfahren zur Herstellung eines MEMS-Bauteils und Verfahren zur Herstellung eines CMOS-kompatiblen MEMS-Bauteils
JP 7090753 - T. Lisec, H.-J. Quenzer
Wärmeisoliertes Mikrosystem
EP 3523637 B1
US 11,137,364 B2 - U. Hofmann, M. Weiß, J. Janes, F. Senger
Bildgebender Strahlungssensor
DE 102013019560 B4 - T. Lisec, H.-J. Quenzer, T. Reimer
Method for manufacturing a device having a three-dimensional magnetic structure
US 11,417,448 - N. Laske, H.-J. Quenzer, V. Stenchly, A. Kulkarni, A. V. Schulz-Walsemann
Verfahren zur Herstellung von Linsenelementen und von gehäusten, strahlungsempfindlichen Bauelementen auf Waferebene
CN ZL 2018 8 0039832.0 - U. Hofmann, H.-J. Quenzer, T. Lisec, T. von Wantoch
Konverter zur Erzeugung eines Sekundärlichts aus einem Primärlicht, Leuchtmittel, die solche Konverter enthalten, sowie Verfahren zur Herstellung solcher Konverter
EP 3391424 B1 - J. Janes
Omnidirektionale Beleuchtungsvorrichtung und Verfahren zum Abtasten eines Raumwinkelbereichs
DE 102017200692 B4 - U. Hofmann, H.-J. Quenzer, F. Niekiel
Mikromechanische Aktuatorvorrichtung und Verfahren zu dessen Herstellung
DE 102017205047 B4 - H.-J. Quenzer, U. Hofmann, V. Stenchly
MEMS Spiegelanordnung und Verfahren zur Herstellung einer MEMS Spiegelanordnung
EP 3658974 B1
US 11,531,196 B2
CN ZL 201880049871.9 - F. Stoppel, F. Niekiel, T. Lisec
MEMS-Schallwandler
CN ZL 2019 1 1231343.8 - T. Lisec, F. Lofink
Ein Verfahren zum Herstellen einer gegenläufig magnetisierten Magnetstruktur
JP 7189180 B2
CN ZL 2020 1 0649585.5