AI technology brain background digital transformation concept
Patente
Nachträge 2021
F. Stoppel, B. Wagner Micromechanical Piezoelectric Actuators for Implementing Large Forces and Deflections MY-187297-A
2022
Z. Yu, H. Kapels, K. Hoffmann Stromrichterschaltung und Verfahren zur Steuerung derselben EP 3563475 B1
T. Lisec, F. Lofink Method of producing a cavity having a porous structure US 11,268,122 B2
B. Wagner, S. Fichtner, F. Lofink Ferroelektrische Halbleitervorrichtung mit einer einen Mischkristall aufweisenden ferroelektrischen Speicherschicht und Verfahren zu deren Herstellung DE 102018212736 B4
F. Stoppel, F. Niekiel, B. Wagner, F. Lofink MEMS-Schallwandler mit Ausnehmungen und Auskragungen DE 102021202573 B3
F. Stoppel, B. Wagner, S. Gu-Stoppel Micromechanical Sound Transducer US 11,350,217 B2
F. Lofink, D. Kaden, S. Fichtner Ferroelektrisches Material, MEMS-Bauteil mit einem ferroelektrischen Material, MEMS-Vorrichtung mit einem ersten MEMS-Bauteil, Verfahren zur Herstellung eines MEMS-Bauteils und Verfahren zur Herstellung eines CMOS-kompatiblen MEMS-Bauteils JP 7090753
T. Lisec, H.-J. Quenzer Wärmeisoliertes Mikrosystem EP 3523637 B1 US 11,137,364 B2
U. Hofmann, M. Weiß, J. Janes, F. Senger Bildgebender Strahlungssensor DE 102013019560 B4
T. Lisec, H.-J. Quenzer, T. Reimer Method for manufacturing a device having a three-dimensional magnetic structure US 11,417,448
N. Laske, H.-J. Quenzer, V. Stenchly, A. Kulkarni, A. V. Schulz-Walsemann Verfahren zur Herstellung von Linsenelementen und von gehäusten, strahlungsempfindlichen Bauelementen auf Waferebene CN ZL 2018 8 0039832.0
U. Hofmann, H.-J. Quenzer, T. Lisec, T. von Wantoch Konverter zur Erzeugung eines Sekundärlichts aus einem Primärlicht, Leuchtmittel, die solche Konverter enthalten, sowie Verfahren zur Herstellung solcher Konverter EP 3391424 B1
J. Janes Omnidirektionale Beleuchtungsvorrichtung und Verfahren zum Abtasten eines Raumwinkelbereichs DE 102017200692 B4
U. Hofmann, H.-J. Quenzer, F. Niekiel Mikromechanische Aktuatorvorrichtung und Verfahren zu dessen Herstellung DE 102017205047 B4
H.-J. Quenzer, U. Hofmann, V. Stenchly MEMS Spiegelanordnung und Verfahren zur Herstellung einer MEMS Spiegelanordnung EP 3658974 B1 US 11,531,196 B2 CN ZL 201880049871.9
F. Stoppel, F. Niekiel, T. Lisec MEMS-Schallwandler CN ZL 2019 1 1231343.8
T. Lisec, F. Lofink Ein Verfahren zum Herstellen einer gegenläufig magnetisierten Magnetstruktur JP 7189180 B2 CN ZL 2020 1 0649585.5