Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie

Projekte

MEMS-Anwendungen

 

  • PiMAR1 - Fertigung und Verbesserung der Fertigbarkeit von piezo-MEMS basierter hermetisch gekapselter Spiegel für AR/VR Anwendungen
  • PoP4SiG - Entwicklung von PowderMEMS Röntgengittern für medizinische Anwendungen
  • PowderGRID-NDT - Röntgengitter für die zerstörungsfreie Materialanalyse
  • SFB1261 Magnetoelektrische Sensoren - von Kompositmaterialien zu biomagnetischer Diagnose
  • X-Celeprint-GALVI - Au-Elektroplattieren von kundenseitig gelieferten Wafern
  • ActiveWave - Aktive Wellenleiter
  • DFG-1D Fast MEMS Mirror for LIDAR - MHZ 1D MEMS Spiegel für LIDAR
  • Dualeyes+ - MEMS-Spiegel für Industrie-LIDAR - Dualeys
  • FocusMEMS - AlScN-basierte AF-Geräte
  • FQS_FBH Quanten Sensorik - MEMS-Spiegel für Quantensensorik
  • Gyro23 - IMU-Gerät
  • HIM - Hochgeschwindigkeitsinterferometer mit Mikrospiegel
  • ILEMO - Integriertes Linsensystem für die optisch neutrale Verkapselung von optischen MEMS-Komponenten
  • IMU device - 6DOF IMU-Gerät
  • IMU für Konsum Produkt - Entwicklung von IMU-Geräten für Konsumgüter
  • KonneQt - MEMS Spiegel für interne Konnektivität im Bereich Quanten Computing
  • MEMS mirror for Auto-LIDAR - MEMS Spiegel für Auto-LIDAR
  • MEMS Spiegel für Methologie - MEMS Spiegel mit Kreisbewegung um den Messrauschen zu reduzieren
  • MEMS Spiegel mit Silflex - MEMS Spiegel mit Silflex als Reflexionsoberfläche
  • MEMS-Boro BMWi 13.04.22 - Entwicklung eines 3D-Endoskops auf Basis einer MEMS-3D-Kamera für die Inspektion von Triebwerkskomponenten
  • MEMSIC 6IMU - Entwicklung von Beschleunigern und Gyroskopen für Verbraucherprodukte
  • MIACAP - Baukasten für modulare optische Aufbauten
  • VIP+ HERMES - Herstellung ultrakompakter MEMS Sensoren mittels laserbasierter Integrationsverfahren
  • AlScN Doppellagen für MEMS Bauteile - Evaluation von piezoelektrischem AlScN Doppellagen für MEMS Bauteile
  • Discover Aktiv-Scan - Akusto-mechanischer Antrieb für Vektorscanner
  • Discover NVControl - Steuerung von NV-Spinzuständen in Diamanten mit magnetoakustischen Oberflächenwellen für skalierbare Quantenchips
  • MiniMe - Miniaturisierte Metamaterialien für MEMS-Ultraschallwandler
  • PRECISE - Intelligente Lösung für nachhaltige Fleischproduktion und -konsum
  • PZT Prozess Evatec - Evaluierung eines vom ISIT entwickelten PZT-Prozesses für die Implementierung auf dem CLN200 PZT-Produktionswerkzeug von EVATEC
  • SALSA - Ferroelektrizität in ScAIN: von der Entdeckung des Effekts zu disruptiven Bauelementen
  • SPKR Push - Entwicklung von A-Mustern von ISIT-Mikrolautsprechern
  • VIP+ Feelscreen - Leistungsstarke PMUTs für haptische Displays
  • WiVoPro NV-Control - Vorprojekt für Photonik und Quantentechnologien
  • PowderBat - ALD-verfestigte Pulverelektroden für integrierte Mikrofestkörperbatterien
  • Smarties - MEMS Energy Harvesting für intelligente Reifen

Batteriesysteme

  • COBRA - CObaltfreie Batterien für zukünftige Automobilanwendungen
  • FB2 Hybrid - Verbundvorhaben: Querschnittplattform Hybridisierung; Teilvorhaben: Verarbeitung von Hybrid-Festkörperelektolyten und Kathoden mittels Trockenbeschichtungsprozessen zu Festkörperbatterien
  • MoPeNZ - Modulare offene Plattformen für elektronome Nutzfahrzeuge
  • QuW-LIB - Qualifikation und Weiterbildung von Fachkräften entlang der gesamten Wertschöpfungskette nachhaltiger Lithium-Ionen-Batterien
  • SiLine - Entwicklung von großflächigen, porösen Si-Film-Anoden für Lithium/Silizium-NMC Energiespeichern (SiLiNE) hin zur industriellen Fertigung.
  • NUBase - Verbundvorhaben: Neuartige Untersuchungsmethoden zur Batteriesicherheit; Teilvorhaben: Aufklärung von Schadensprozessen mittels zellinterner Sensorik
  • TroPMelt - Trockenbeschichtung "Trockene Pulver-Schmelz-Kalandrierung für eine umweltfreundliche und kostengünstige Elektrodenproduktion"
  • BeLiMIA - Beobachtung von Lithiumionenzellen mittels Zusammenführung von Messmethoden zur Identifizierung und Quantifizierung von Alterungsvorgängen
  • CAPTN Eergy öffentliches Projekt 2nd2Sea - Aufbau eines Stationären Speichers aus 2nd Life Batterien zur Ladepufferung
  • Qualifizierung von Pouchfolien - Prüfung der Eignung der von Bischof + Klein hergestellten AluFlex® Pouchfolie für die Verwendung in Lithium-Ionen-Pouchzellen und einer mögliche Verwendung in der FFB Münster
  • SimBAS - Simulation von Batteriezellen und Anwendungen in Speichersystemen

Leistungselektronik

 
  • SCALING - Scandium-Aluminium-Nitrid für lineare Breitbandverstärker der nächsten Messgeräte-Generation
  • EUCA_APECS -  Pilotlinie für fortschrittliches Packaging und heterogene Integration für elektronische Komponenten und Systeme
  • FlaMe - Vollständig kontrollierte, in Losgröße 1 gefertigte Leistungsmodule
  • MIGPix - Photodetektor-Array
  • NeurOSmart - Analoge neuromorphe Beschleuniger, die effiziente und sichere intelligente Sensoren ermöglichen
  • Size Is Important 2 - Evaluierung von Silizium-Membranen für die Analyse von sub-µ Plastik‐Partikeln in der Umwelt
  • VerGaN - Vertikale GaN Chip Entwicklung mit innovativem Modul- und Endstufendesign (VerGaN)
  • RELPLAS - Erhöhte Qualitätssicherung von Plasmaprozessen
  • Powercare - Motorregelung mit integrierter Ausfallvorhersage für Leistungshalbleiter der nächsten Generation

Elektronische Energiesysteme

  • Heart4Farms - Bewertung des Potenzials der Super-HEART-Technologie für die vertikale Landwirtschaft
  • AC2DC - Phase II - Erhöhung der Übertragungsleistung im Verteilnetz mit bestehenden AC-Ver-bindungen als DC-Strecken - Machbarkeitsnachweis im Feld
  • Potential and challenge of hybrid system - Potenziale und Herausforderungen eines hybriden, leistungselektronikgestützten Energiesystems
  • Data fusion for power module - Phase II - Datenfusion zur Abschätzung des Gesundheitszustands von Leistungsmodulen
  • Netzdienliche Speicherlösungen - Potenzialstudie netzdienlicher Speicherlösungen im MV-Stromnetz
  • Super-HEART - eine fehlertolerante und hocheffiziente Energiedrehscheibe mit integriertem Kurzzeit-Energiespeicher für eine hochverfügbare Stromversorgung

Mikro-Fertigungsverfahren

  • 3D-ACC HOPE - Multi-Project Wafer Run und Prozessverifizierung für 3D-Beschleunigungsmesser
  • Condias-MEMS Elektroden - Herstellung von Wafern mit MEMS-Elektroden für Mikro-Ozon-Generator
  • DMSonSOI - Verifizierung des verfügbaren Prozessablaufs zur Herstellung eines DMS auf SOI-<110>-Wafern
  • Glas-Si Komposite für NanoSCAn - Entwicklung der Glas-Si Komposite Substrate für den Aufbau der Ionenfallen
  • Phoenix - Übertragung des Herstellungsverfahrens für E-Beam-Masken
  • Printhead - Prozessentwicklung und Aufbau der nächsten Generation von Druckköpfen
  • Sicoya Entwicklung Reflektorfläche - Entwicklung eines Herstellungsprozesses für Reflektor Flächen unterhalb der Gitterkoppler der optischen Wellenleiter
  • Si-Glass manifold substrate - Herstellung von Glas-Silizium-Verteilersubstraten für die Glasfrittenverklebung
  • Testwafer mit Goldstrukturen - Testwafer mit Goldstrukturen zum Bonden
  • TROM - Übertragung des Herstellungsverfahrens für eine schaltbare E-Beam-Maske
  • MEMS-Boro BMWi-MfV - Entwicklung eines 3D-Endoskops auf Basis einer MEMS-3D-Kamera für die Inspektion von Triebwerkskomponenten
  • PiMAR1-MfV - Piezo-MEMS-Mikromirror für Augmented Reality Herstellung und Verbesserung der Herstellbarkeit von hermetisch gekapselten Piezo-MEMS-Spiegeln für AR/VR-Anwendungen