Fraunhofer-Institut für SiliziumtechnologieForschung und Entwicklung
Resonante MEMS-Magnetsensoren können schwache Magnetfelder erkennen. Die Empfindlichkeit der ISIT-Sensoren gegenüber einem externen Magnetfeld wird entweder durch einen monolithisch integrierten Hartmagneten aus NdFeB (PowderMEMS) oder durch eine magnetostriktive Dünnschicht realisiert. Beide Ansätze sind in der Lage, eine LoD von einigen pT in Resonanz und einigen nT außerhalb der Resonanz zu erreichen. Die elektrische Umwandlung der Signale erfolgt in beiden Fällen über AlN (Piezo MEMS), was einen niedrigen Rauschpegel und eine hohe Ausgangsspannung ermöglicht.
Technologien für: Messung biomagnetischer Felder in unabgeschirmter Umgebung sowie schwachen Störfeldern z.B. in QC/QS-Anwendungen, Strommessung mit hohem Dynamikbereich. Geeignet für den Einsatz in Arrays und für Anwendungen mit hoher räumlicher Auflösung.
