Fraunhofer-Institut für SiliziumtechnologieMesse
Nutzen Sie die Gelegenheit und treffen Sie unsere Expert:innen auf der 25. LASER World of PHOTONICS Messe in München!
Unsere Expert:innen wollen mit Ihnen ihr langjähriges Know-how über Mikrosysteme für optische Anwendungen teilen!
Sind Sie gespannt, was unsere Exponate sind? 👀
👉 Opto-Packaging: 3D-Glasformungstechnologie, RGB-Laser Light Engine
👉 Mikrooptische Komponenten und Systeme: Linsen, Spiegel und Arrays
👉 MEMS-Scanner: für LiDAR-Systeme & Lasermaterialbearbeitung
Das Fraunhofer ISIT präsentiert auf der Laser 2022 Mikrosysteme für optische Anwendungen zu folgenden Schwerpunktthemen:
Laser-Materialbearbeitung
High Power Laser-Scanner für Laser-Material-Bearbeitung, Laserschweißen, Laserschneiden etc. Die neuen von Fraunhofer ISIT entwickelten MEMS-Scanner erlauben die schnelle Ablenkung von Laserstrahlung mit bis zu 4,5 kWatt bei Scanfrequenzen im Kilohertz-Bereich. Damit lässt sich für viele Fertigungsprozesse eine erhebliche Durchsatz-Steigerung und in vielen Fällen auch eine neue Funktionalität und Qualitäts-Steigerung erzielen. Weltweit einzigartig sind dielektrisch beschichtete hochreflektierende Spiegel mit Aperturen bis zu 20 mm.
MEMS-LIDAR-Systeme
Die 3D- LIDAR-Kamera basiert auf einem 2D-MEMS-Scanner die das Prinzip der Phasendifferenz eines ausgesendeten Laserstrahls zum detektierten „Echo“ als Entfernungsmessung verwendet. Der Phasendetektionsalgorithmus ermöglicht 60 Millionen 3D-Messungen pro Sekunde. Die Kamera hat eine Auflösung von 450 x 450 Pixel und liefert sechs Bilder pro Sekunde. Die Tiefenauflösung soll wenige Millimeter betragen und der maximal detektierbare Abstand zum Objekt beträgt 2 m.
Opto-Packages
Opto-Packages für Wafer-Level-Packaging.
Umgeschmolzene Glaswafer mit speziell angepasste optische Funktionen.
Basierend auf einer von Fraunhofer ISIT entwickelten und patentierten Umformtechnik von Glaswafern lassen sich speziell geformter optische Fenster massenhaft auf Waferebene realisieren, was eine kostengünstige Massenfertigung optischer Packages ermöglicht. Im Zusammenhang mit MEMS-Scannern und IR-MEMS-Bauelementen ist dieses Herstellungsverfahren der Schlüssel zu hermetisch gekapselten MEMS-Bauelementen mit optimaler optischer Funktionalität.
Mikrolinsen und -spiegel, Mikorlinsenarrays
Das Fraunhofer ISIT etwickelt auf Glaswafern verschiedene, individuell angepasste Linsen und Spiegel. Das Fertigungsverfahren eignet sich insbesondere für die Herstellung von Präzisionsoptiken mit hoher Uniformität und Reproduzierbarkeit. Mit dem Verfahren, die sogenannte Heißviskose Formgebung, lassen sich inzwischen auch asphärische Optiken für den optischen und IR Bereich herstellen.
