Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie
Auch in diesem Jahr präsentiert sich das Fraunhofer ISIT auf der Photonics West in San Francisco. Unter der Überschrift "Mikrosysteme und deren Fertigung für optische Anwendungen" bieten wir Informationen und Angebote zu den Forschungsthemen High-Power Laser Scanner, MEMS LIDAR Systeme, Mikrolinsen und -spiegel, Mikrolinsenarrays sowie energieeffiziente und intelligente Sensoren für die nächste Generation autonomer Systeme.
MEMS-Anwendungen
High-Power Laser Scanner
High Power Laser-Scanner (mit Stroboskop-Beleuchtung)
Laser-Material-Bearbeitung, Laserschweißen, Laserschneiden etc.
Die neuen von Fraunhofer ISIT entwickelten MEMS-Scanner erlauben die schnelle Ablenkung von Laserstrahlung mit bis zu 4,5 kWatt bei Scanfrequenzen im Kilohertz-Bereich. Damit lässt sich für viele Fertigungsprozesse eine erhebliche Durchsatz-Steigerung und in vielen Fällen auch eine neue Funktionalität und Qualitäts-Steigerung erzielen. Weltweit einzigartig sind dielektrisch beschichtete hochreflektierende Spiegel mit Aperturen bis zu 20 mm.
MEMS-LIDAR-Systeme
LIDAR Systems / 3D Camera
Die 3D- Kamera basiert auf einem 2D-MEMS-Scanner die das Prinzip der Phasendifferenz eines ausgesendeten Laserstrahls zum detektierten „Echo“ als Entfernungsmessung verwendet. Der Phasendetektions-algorithmus ermöglicht 60 Millionen 3D- Messungen pro Sekunde. Die Kamera hat eine Auflösung von 450 x 450 Pixel und liefert sechs Bilder pro Sekunde. Die Tiefenauflösung soll wenige Millimeter betragen und der maximal detektierbare Abstand zum Objekt beträgt 2 m.
Mikrofertigungs-Verfahren
Opto-Packages
Glas-Packages für Wafer-Level-Packaging
Entwicklung von umgeschmolzenen Glaswafern zur Erreichung speziell angepasster optischer Funktionen. Basierend auf einer von Fraunhofer ISIT entwickelten und patentierten Umformtechnik von Glaswafern lassen sich Mikrolinsen, Reflektoren und speziell geformter optische Fenster massenhaft auf Waferebene realisieren, was eine kostengünstige Massenfertigung mikrooptischer Bauelemente ermöglicht. Im Zusammenhang mit MEMS-Scannern und IR-MEMS-Bauelementen ist dieses Herstellungsverfahren der Schlüssel zu hermetisch gekapselten MEMS-Bauelementen mit optimaler optischer Funktionalität.
Mikrolinsen und -spiegel, Mikrolinsenarrays
Linsen und Spiegel, die auf Waferebene aus Glas hergestellt werden.
Das Verfahren eignete insbesondere für dieHerstellung von Präzisions-optiken mit hoher Uniformität und Reproduzierbarkeit. Mit dem Verfahren der Heißviskosen Formgebung lassen sich inzwischen auch asphärische Optiken für den optischen und IR Bereich herstellen.
Projekt Neurosmart
Neurosmart - Sensoren lernen das Denken
Im Leitprojekt NeurOSmart der Fraunhofer-Gesellschaft forschen fünf Institute (ISIT, IPMS, IMS, IWU, IAIS) unter Leitung des ISIT gemeinsam an besonders energieeffizienten und intelligenten Sensoren für die nächste Generation autonomer Systeme. Dabei werden die Brücken zwischen Wahrnehmung und Informationsverarbeitung durch innovative Elektronik neu definiert.
Als Vorbild für die zu entwickelnde sogenannte neuromorphe Elektronik dient das menschliche Gehirn, denn dieses ist trotz seiner enormen Rechenleistung sehr energiesparend beim Treffen von Entscheidungen. Diese Art der Datenverarbeitung wird durch eine neuartige analoge Computer-Speichertechnologie realisiert, die zudem in der Lage ist, Rechenoperationen durchzuführen, wenn Daten in dem System neu erfasst werden. Unterstrichen werden die Vorteile des neuen Ansatzes durch die parallele Entwicklung besonders kleiner und effizienter Modelle für die Objekterkennung und -klassifizierung, die speziell auf den Sensor, die neuen Möglichkeiten der direkt integrierten Elektronik und ihre Anwendungen angepasst werden.
Aktuell wird dieser Ansatz erstmals mit einem komplexen, bei Fraunhofer entwickelten LiDAR-System (Light Detection And Ranging) kombiniert und in anwendungsnaher Umgebung erprobt.
Besuchen Sie uns im Moscone Center, Stand 4029.
