Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie2025
- S. Gu-Stoppel, M. Niekiel, T. Lisec, F. Lofink
MEMS and method manufacturing the same
US 12,209,010 B2
- T. Giese
Empfänger und Verfahren zur Bestimmung einer Phaseninformation eines empfangenen Signals und System und Verfahren zur Messung einer Information über eine Entfernung zu einem Objekt
DE 102014200634 B4 - A Huebel, B. Jensen, G. Kurij, W. Reinert, Y. Sarvo, V. Stenchly, B. Tratzmiller, C. Veit, Y. Zhang
Monolithische Multi-Aperturplatte für ein Vielstrahl-Elektronenstrahlsystem, Verfahren zur Herstellung einer monolithischen Multi-Aperturplatte, und Vielstrahl-Elektronenstrahlsystem mit einer monolithischen Multi-Aperturplatte
DE 102023126510 B3 - T. Lisec, O. Behrmann
Mikrostrukturierte Vorrichtung mit Partikeln mit sorbierenden und/oder katalytischen Eigenschaften, sowie Herstellungsverfahren
DE 102023209082 B3 - W. Reinert, V. Stenchly, H.-J. Quenzer, D. Kähler
Verfahren zur Herstellung eines Deckelsubstrats mit optisch aktiven Fensterbereichen, Verfahren zur Herstellung eines hermetisch gehäusten, optoelektronischen Bauelements und hermetisch gehäustes, optoelektronisches Bauelement
DE 102021203650 B4 - S. Fichtner, H. Kapels, F. Lofink, B. Wagner
Eine Halbleitervorrichtung mit verbesserter Leitfähigkeit
JP 7648784 - T. Lisec, O. Behrmann, M.-T. Bodduluri, B. Gojdka
Verfahren zum Herstellen einer mit losen Pulverpartikeln gefüllten mikrostrukturierten Vorrichtung
DE 102023209084 B3 - F. Stoppel, M. Niekiel, B. Wagner, F. Lofink
MEMS-Schallwandler mit Ausnehmungen und Auskragungen
EP 4309379 B1 - M. Niekiel, F. Stoppel, B. Wagner, F. Lofink
MEMS-Schallwandler
EP 4315882 B1 - J. Ophey, A. Würsig
Verfahren zur lösungsmittelfreien Beschichtung von Folien für elektrochemische Anwendungen
EP 3916844 B1 - T. Lisec, S. Chemnitz, B. Wagner
Vorrichtung mit einer Vielzahl von Partikeln und Verfahren zum Herstellen derselben
EP 3280526 B1
EP 3363533 B1 - S. Gu-Stoppel, D. Kaden, C. Eisermann
Vorrichtung mit einer Feder und einem daran aufgehängten optischen Element
EP 2808720 B1 - Y. Sarov, A. Huebel, B. Jensen
Fertigungsverfahren für eine monolithische Multi-Aperturplatte und monolithische Multi-Aperturplatte für ein Vielstrahl-Elektronenstrahlsystem
DE 102024105793 B3 - H.-J. Quenzer, V. Stenchly
Verfahren zur Herstellung optischer Komponenten unter Verwendung von Funktionselementen
EP 3433207 - B. Gojdka, T. Lisec, T. Dankwort, N. Clausen
Mikromechanisches System mit Partikeln mit ersten und zweiten Massendichten, und Verfahren zur Herstellung entsprechender mikromechanischer Systeme
DE 102023202517 B4 - T. Lisec, H.-J. Quenzer
Wärmeisoliertes Mikrosystem
DE 102016119031 B4 - R. Brüning, R. Leitel, M. Hubold, H.-J. Quenzer, D. Weiler
Mehrkanaliger katadioptrischer Aufbau zur Aufnahme eines Infrarotbildes
EP 4314740 B1 - T. Lisec, M. Niekiel, S. Gu-Stoppel, F. Lofink
Mikrosystem und Verfahren zum Herstellen desselben
CN ZL202080057370.2 - H. Kapels, S. Fichtner
Transistor having high electron mobility (HEMT), transistor assembly, method for controlling an
HEMT, and method for producing an HEMT
JP 7765880 - T. Lisec, N. Clausen, B. Gojdka, O. Behrmann, T. Dankwort, F. Klingbeil
MEMS-Bauelement mit federgelagertem dreidimensionalen Formkörper
DE 102024202470 B4