Projekte

MEMS-Anwendungen

Herstellung und Integration piezoelektronische AIScN Dünnfilme für Piezo-MEMS Bauelemente
MEMS Spiegel für LIDAR Kamera
MEMS mirror for quantum-sensing
Development of MEMS Speakers for in-ear Headphones
Development of sputtered thin film piezoelectric AlN as a functional MEMS material
Labor zur Integration poröser 3D-Hochleistungswerkstoffe in Bauelemente der Mikrosystemtechnik und Leistungselektronik
Extrem breitbandiger Stromsensor mit höchster Dynamik für hocheffiziente Leistungswandlung
Entwicklung eines 3D-Endoskops auf Basis einer MEMS-3D-Kamera für die Inspektion von Triebwerkskomponenten
Entwicklung dreidimensionaler Mikrostrukturen aus Niedertemperaturverfestigten porösen Pulverpackungen
Optoelektronisch-mikrofluidisches System zur Detektion von fluoreszenzmarkierten Nukleinsäuren
Piezo MEMS Micromirror for Augmented Reality
Fertigung und Verbesserung der Fertigbarkeit von piezo-MEMS basierter hermetisch gekapselter Spiegel für AR/VR Anwendungen
Ferroelektrizität in ScAIN: von der Entdeckung des Effekts zu disruptiven Bauelementen
SPKR Push - Gen2 Loudspeaker

BeLiMIA - Beobachtung von Lithiumionenzellen mittels Zusammenführung von Messmethoden zur Identifizierung und Quantifizierung von Alterungsvorgängen
COBRA - CObalt-free Batteries for FutuRe Automotive Applications
Eigenbau einer Verfüllanlage für Elektrolyte
Verbundvorhaben: Querschnittplattform Hybridisierung; Teilvorhaben: Verarbeitung von Hybrid-Festkörperelektolyten und Kathoden mittels Trockenbeschichtungsprozessen zu Festkörperbatterien
Optimierung von Magnesium-Schwefel Batterien durch innovative Materialentwicklung
Verbundvorhaben: Neuartige Untersuchungsmethoden zur Batteriesicherheit; Teilvorhaben: Aufklärung von Schadensprozessen mittels zellinterner Sensorik
Hochleistungsladesystem mit integriertem Pufferspeicher
Entwicklung von großflächigen, porösen Si-Film-Anoden für Lithium/Silizium-NMC Energiespeichern (SiLiNE) hin zur industriellen Fertigung.
SimBAS - Simulation von Batteriezellen und Anwendungen in Speichersystemen

FlaMe: Flexible angepasste Fertigung von Leistungs-Modulen
LaSiC: Elektrische Antriebsmaschine mit in das Lagerschild integrierter Siliziumcarbid-Leistungselektronik
Fraunhofer-Leitprojekt NeurOSmart: Analoge neuromorphe Beschleuniger, die effiziente und sichere Smart-Sensoren ermöglichen
SCALING: Scandium-Aluminium-Nitrid für lineare Breitbandverstärker der nächsten Messgeräte-Generation
Super-HEART: a fault-tolerant and highly efficient energy hub with embedded short-term energy storage for high availability electric power delivery
Analyse von elektrisch auffälligen Elementen mittels LOCK-IN Thermographie
Development of LC-Resonator and DCDC-Converter test board

Multi-Project Wafer Run for process verification for 3D-accelerometer
Herstellung von Wafern mit MEMS-Elektroden für Mikro-Ozon-Generator
Erstellung einer Machbarkeitsstudie für die Entwicklung einer Mikrooptik auf Waferebene und deren Systemintegration
Entwicklung eines Herstellungsprozesses für optische dünne Dome mit Durchmessern von 3 mm- 5 mmn Leistungsmodulen
Process development and build up of next generation piezoelectric printheads
Build up of printhead dies
Entwicklung eines Herstellungsprozesses für Reflektor Flächen unterhalb von Gitterkoppler für optischen Wellenleiter
Glass-Silicon Manifold Substrate Fabrication for Glass Frit Bonding
Development and adjustment of the existing MEMS technology to fulfill the specifications for next generation e-beam writing
Transfer of fabrication process for a e-beam mask writer