Fraunhofer Institute for Silicon Technology
2023
- B. Wagner, F. Lofink, D. Kaden, S. Fichtner
Ferroelectric material, MEMS component comprising a ferroelectric material, MEMS device comprising a first MEMS component, method of producing a MEMS component, and method of producing a CMOS-compatible MEMS component
US 11,744,158 B2 - B. Wagner, F. Lofink, D. Kaden, S. Fichtner
Ferroelektrisches Material, MEMS-Bauteil mit diesem Material, MEMS-Vorrichtung, sowie Herstellungsverfahren
EP 3766109 B1 - B. Wagner, S. Fichtner, F. Lofink
Ferroelectric semiconductor device and method for producing a memory cell
US 11,672,127 B2 - F. Stoppel, B. Wagner, S. Gu-Stoppel
Mikromechanischer Schallwandler
EP 3632135 B1.JP 7303121 - H. Kapels, Z. Yu
Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung einer Wechselspannung
EP 3455932 B1 - H.J. Quenzer, V. Stenchly
Verfahren zur Herstellung optischer Komponenten unter Verwendung von Funktionselementen
CN ZL201780032044.4 - J. M. Ophey, A. Würsig
Process for the solvent-free coating of foils for electrochemical applications
US 11,688,844 B2 - M. F. Niekiel, F. Lofink, T. Lisec
MEMS-System
EP 3899992 B1 - M. F. Niekiel, F. Stoppel, T. Lisec
MEMS sound transducer
US 11,589,169 B2 - N. Laske, H.J. Quenzer, V. Stenchly, A. Kulkarni, A.V. Schulz-Walsemann
Method for producing lens elements and packaged radiation-sensitive devices on wafer level
US 11,815,699 B2 - S. Gu-Stoppel, D. Kaden, C. Eisermann
Vorrichtung mit einer Feder und einem daran aufgehängten optischen Element
EP 2808721 B1 - S. Gu-Stoppel, H.J. Quenzer, J. Janes, F. Heinrich
Piezoelektrischer Positionssensor für piezoelektrisch angetriebene resonante Mikrospiegel
EP 2998777 B1 - T. Lisec, F. Lofink
Method of producing an oppositely magnetized magnetic structure
US 11,742,123 B2 - W. Reinert, V. Stenchly, H.-J. Quenzer
Hermetisch verkappte, optische Projektionsanordnung und Verfahren zum Herstellen derselben
DE 102021206477 B4