Patents

• H.-J. Quenzer, U. Hofmann, V. Stenchly
  MEMS Spiegelanordnung und Verfahren zur Herstellung einer MEMS Spiegelanordnung
  IL 272020
• J. Janes, U. Hofmann
  Device apparatus for projecting a laser beam for generating an image on the retina of an eye
  US 11,867,916 B2
• B. Wagner, F. Lofink, D. Kaden, S. Fichtner
  Ferroelectric Material, MEMS Component Comprising a Ferroelectric Material, MEMS Device Comprising a First MEMS Component, Method of Producing a MEMS component, and Method of Producing a CMOS-compatible MEMS Component
  CN ZL201980030568.9
• W. Reinert
  Optische Projektionsanordnung
  DE 102021203648 B4
• T. Lisec, S. Chemnitz, B. Wagner
  Apparatus having a multitude of particles and method for manufacturing the same
  US 11931714 B2
• B. Wagner, F. Lofink, D. Kaden, S. Fichtner
  Ferroelektrisches Material, MEMS-Bauteil mit einem ferroelektrischen Material, MEMS-Vorrichtung mit einem ersten MEMS-Bauteil, Verfahren zur Herstellung eines MEMS-Bauteils und Verfahren zur Herstellung eines CMOS-kompatiblen MEMS-Bauteils
  KR 10-2650928
• S. Gu-Stoppel, M. Niekiel, T. Lisec, F. Lofink
  MEMS und Verfahren zum Herstellen desselben
  EP 3924295 B1
• B. Wagner, S. Fichtner, F. Lofink
  Ferroelektrische Halbleitervorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Speicherzelle
  CN ZL201980062904.8
• P. Merz, W. Reinert, M. Oldsen, O. Schwarzelbach
  Vielfach-Bauelement mit mehreren aktive Strukturen enthaltenden Bauteilen (MEMS) zum späteren Vereinzeln, flächiges Substrat oder flächig ausgebildete Kappenstruktur, in der Mikrosystemtechnik einsetzbares Bauteil mit aktiven Strukturen, Einzelsubstrat oder Kappenstruktur mit aktiven Strukturen und Verfahren zum Herstellen eines Vielfach-Bauelements
  DE 10 2006 016 260 B4
• W. Reinert, M. Heller
  Mikroelektromechanischer Inertialsensor mit atmosphärischer Bedämpfung
  DE 102008016004 B4
• W. Reinert, H.-J. Quenzer, N. Burmeister
  Verfahren zum Herstellen einer elektrisch leitfähigen Kanalstruktur in einem Substrat
  DE 102023207522 B3
• W. Reinert, H.-J. Quenzer, V. Stenchly
  Verfahren zur Herstellung eines Deckelsubstrats, Verfahren zur Herstellung eines hermetisch gehäusten, optoelektronischen Bauelements und hermetisch gehäustes, optoelektronisches Bauelement
  EP 4294767 B1
• F. Stoppel, F. Lofink, M. Niekiel, B. Wagner
  MEMS-Schallwandler
  DE 10 2022 203 173 B4
• E. Gayretli, H.-G. Bremes
  Verbund für elektrochemische Zellen, Verfahren zum Herstellen eines Verbundes, Verfahren zum Herstellen eines Laminats sowie Elektrode und Verwendung
  DE 102023117850 B4
• F. Stoppel, F. Niekiel, B. Wagner, F. Lofink
  MEMS-Schallwandler
  DE 102024203237 B4

• F. Senger, S. Gu-Stoppel, E. Yarar, G. Wille
  Anordnung einer Waferstapels für hermetische Verkapselung mit definiertem Innendruck für MEMS quasi-statische Komponente
  EP 4288379 B1

UTILITY PATENTS

• H. J. Quenzer, U. Hofmann, V. Stenchly
  MEMS Spiegelanordnung
  Gebrauchsmuster 202017007695